В вакуумных камерах для полупроводниковых изделий, на площадках для производства плоских дисплеев и в прецизионных автоматизированных системах часто используются крупноформатные алюминиевые пластины или нержавеющая сталь. Эти компоненты требуют строгой плоскостности на микронном уровне, точного позиционирования и безупречной обработки уплотнительных колец. Обработка сотен тонких пневматических каналов, уплотнительных канавок и многоугольных отверстий для датчиков на больших пластинах требует высоких скоростей вращения и динамически сбалансированной точности.
Высокоскоростные угловые и универсальные фрезерные головки Gong Yang отличаются прецизионной динамической балансировкой и высокоточным редуктором, способным надежно работать на скоростях до 2000+ об/мин. Они превосходно подходят для высокоскоростного фрезерования, сверления малых диаметров, жесткой нарезки резьбы и микрошлифовки уплотнительных поверхностей. Благодаря универсальному индексированию на 360° эти головки позволяют выполнять боковую прокладку отверстий и сверление угловых отверстий для датчиков на боковых стенках камеры за один цикл зажима, исключая микронные искажения, возникающие при повторном зажиме.
Вакуумные камеры для полупроводниковых изделий, приспособления для работы с кремниевыми пластинами, вакуумные столы для плоских дисплеев и высокоточные автоматизированные конструкционные пластины.
